Сверхбыстрые измерения ВАХ охватывают широкий диапазон применений, среди которых:
- общее тестирование устройств в импульсном режиме: МОП транзисторы, резисторы, диоды, конденсаторы и т.п.;
- измерение параметров КМОП: подкачка заряда, захват заряда, саморазогрев, надежность;
- тестирование энергонезависимой памяти: флэш, PCRAM;
- композитные полупроводниковые приборы и материалы: GaAs, GaN, лазерные диоды, измерение теплового импеданса;
- нанотехнологии и микроэлектромеханические устройства: полевые транзисторы на углеродных нанотрубках, датчики;
- солнечные батареи;
- тестирование других устройств: дисплеи на органических светодиодах, устройства со сверхпроводниками; и многое другое.
Система Keithley 4200-SCS – универсальная система для измерений I-V (вольт-амперных характеристик –ВАХ) и С-V (вольт-фарадных характеристик) на постоянном токе и в импульсном режиме для полупроводниковых приборов и тестовых структур на пластине в полупроводниковом производстве.
Система имеет модульную многоканальную архитектуру и настраиваемую конфигурацию, поддерживая до 9 измерительных и дополнительных модулей.
Обеспечивает:
- Измерение ВАХ в диапазоне токов 0,1 фА до 1 А и напряжения от 1 мкВ до 210 В
- Измерение C-V в диапазоне до 400 В с разрешением 5 мВ, в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц
- Ультрабыстрое и импульсное тестирование с временным разрешением 10 нс
Основные особенности:
- Встроенный системный контроллер с процессором 2 Duo-Pentium и поддержкой монитора высокого разрешения
- Шасси поддерживает до 9 измерительных модулей одновременно
- Опционально предусилитель малых токов для модулей средней и высокой мощности
- Измерение вольт-фарадных (C-V) характеристик с дифференциальным смещением ±60 В и в диапазоне частот от 1 кГц до 10 МГц, а также в квазистатическом режиме и ультраникочастотную CV-метрию
- Опциональное измерение высоковольтных Вольт-фарадных (С-V) характеристик в диапазоне дифференциального напряжения до 400 В
- Интерактивная интуитивно понятная пользовательская среда тестирования (КITE) позволяет быстро решать задачи по управлению процессом измерения и тестирования
- Библиотека до 450 стандартных тестов
Рабочая станция на базе Windows XP
- Процессор Pentium Core 2 Duo 6400
- Память — 2 Гб
- Жесткий диск -500 Гб SATA HDD
- DVD/CD-RW
- Встроенный 12-дюймовый дисплей с выходом на внешний SVGA Монитор
- Порты LAN, GPIB, USB, RS-232, Parallel Printer Port
Система измернеия параметров полупроводников Keithley 4200 — это комплекс аппаратных и программных средств
Диапазон тока | Макс. напряж. |
Разрешение (измерение) | Точность измерения ±(% от шкалы + А) |
Разрешение (генерация) |
Точность генерации ±(% от шкалы + А) |
|
4210-SMU | 1 А | 21 В | 1 мкА | 0,100% + 200 мкА | 50 мкА | 0,100% + 300 мкА |
100 мА | 210 В | 100 нА | 0,045% + 3 мкА | 5 мкА | 0,050% + 15 мкА | |
4200-SMU и 4210-SMU |
100 мА | 21 В | 100 нА | 0,045% + 3 мкА | 5 мкА | 0,050% + 15 мкА |
10 мА | 210 В | 10 нА | 0,037% + 300 нА | 500 нА | 0,042% + 1,5 мкА | |
1 мА | 210 В | 1 нА | 0,035% + 30 нА | 50 нА | 0,040% + 150 нА | |
100 мкА | 210 В | 100 пА | 0,033% + 3 нА | 5 нА | 0,038% + 15 нА | |
10 мкА | 210 В | 10 пА | 0,050% + 600 пА | 500 пА | 0,060% + 1,5 нА | |
1 мкА | 210 В | 1 пА | 0,050% + 100 пА | 50 пА | 0,060% + 200 пА | |
100 нА | 210 В | 100 фА | 0,050% + 30 пА | 5 пА | 0,050% + 30 пА | |
4200-SMU и 4210-SMU с опцией 4200-PA |
10 нА | 210 В | 10 фА | 0,050% + 1 пА | 500 фА | 0,060% + 3 пА |
1 нА | 210 В | 3 фА | 0,050% + 100 фА | 50 фА | 0,060% + 300 фА | |
100 пA | 210 В | 1 фА | 0,100% + 30 фА | 15 фА | 0,100% + 80 фА | |
10 пА | 210 В | 0,3 фА | 0,050% + 15 фА | 5 фА | 0,500% + 50 фА | |
1 пА | 210 В | 100 нА | 1,000% + 30 фА | 1,5 фА | 1,000% + 40 фА | |
Диапазон напряжения |
Максимальный ток | Разрешение измерения |
Точность измерения ±(% от шкалы + А) |
Разрешение (генерация) |
Точность генерации ±(% от шкалы + А) |
|
4200-SMU | 4210-SMU | |||||
200 В | 10,5 мА | 105 мА | 200 мкВ | 0,015% + 3 мВ | 5 мВ | 0,02% + 15 мВ |
20 В | 105 мА | 1,05 мА | 20 мкВ | 0,01% + 1 мВ | 500 мкВ | 0,02% + 1,5 мВ |
2 В | 105 мА | 1,05 мА | 2 мкВ | 0,012% + 150 мкВ | 50 мкВ | 0,02% + 300 мкВ |
200 мВ | 105 мА | 1,05 мА | 1 мкВ | 0,012% + 100 мкВ | 5 мкВ | 0,02% + 150 мкВ |
Амплитудные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU | ||||||
Параметр | Импеданс | Диапазон 10 В | Диапазон 40 В | |||
Амплитуда на выходе | 50 Ом — 1 МОм | -10 В…+ 10 В | -40 В…+40 В | |||
50 Ом — 50 Ом | -5 В…+ 5 В | -20 В…+ 20 В | ||||
Точность | ±(0,5% + 10 мВ) | ±(0,2% + 20 мВ) | ||||
Разрешение | 50 Ом — 1 МОм | < 250 мкВ | < 750 мкВ | |||
50 Ом — 50 Ом | < 0,5 мВ | < 1,5 мВ | ||||
Уровень шума, скз (типичное) | ±(0,3% + 1 мВ) | ±(0,1% + 5 мВ) | ||||
Выходной импеданс | 50 Ом | 50 Ом | ||||
Временные и частотные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU | ||||||
Параметр | Диапазон 10 В (только генерация) | Диапазон 10 В (с измерением) | Диапазон 40 В (только генерация) | Диапазон 40 В (с измерением) | ||
Частотный диапазон | 1 Гц…50 МГц | 1 Гц…8,3 МГц | 1 Гц…10 МГц | 1 Гц…3,5 МГц | ||
Временное разрешение | 10 нс | 10 нс | 10 нс | 10 нс | ||
Джиттер, скз (типичное) | 0,01% + 200 пс | 0,01% + 200 пс | 0,01% + 200 пс | 0,01% + 200 пс | ||
Период | 20 нс…1с | 120 нс…1с | 100 нс…1с | 280 нс…1с | ||
Длительность импульса | 10 нс…(период — 10 нс) | 60 нс…(период — 10 нс) | 50 нс…(период — 10 нс) | 140 нс…(период — 10 нс) | ||
Программируемое время перехода | 10 нс…33 мс | 20 нс…33 мс | 30 нс…33 мс | 100 нс…33 мс | ||
Измерение тока (4225-PMU) | ||||||
Параметр | Диапазон 10 В | Диапазон 40 В | ||||
Диапазон измерения тока | 10 мА | 200 мА | 100 мкА | 10 мА | 800 мА | |
Точность | ±(0,25% + 100 мкА) | ±(0,25% + 250 мкА) | ±(0,25% + 1 мкА) | ±(0,5% + 100 мкА) | ±(0,25% + 3 мА) | |
Шум | 15 мкА | 50 мкА | 75 нА | 5 мкА | 200 мкА | |
Измерение тока (4225-RPM) | ||||||
Параметр | Диапазон 10 В | |||||
Диапазон измерения тока | 100 нА | 1 мкА | 10 мкА | 100 мкА | 1 мА | 10 мА |
Точность | ±(0,5% + 1 нА) | ±(0,5% + 1 нА) | ±(0,5% + 30 нА) | ±(0,5% + 100 нА) | ±(0,5% + 1 мкА) | ±(0,5% + 10 мкА) |
Шум | 200 нА | 2 нА | 5 нА | 50 нА | 300 нА | 1,5 мкА |
Измерение напряжения (4225-PMU и 4225-RPM) | ||||||
±10 В 4225-PMU |
±40 В 4225-PMU |
±10 В 4225-RPM |
||||
Точность | ±(0,25% + 10 мВ) | ±(0,25% + 40 мВ) | ±(0,25% + 10 мВ) |